先看一个例子
假设一篇 ALD 论文里有一句话:
论文原文
The Al₂O₃ film was deposited at 200 °C using trimethylaluminum and H₂O. The TMA pulse time was 0.1 s, followed by a 5 s N₂ purge. The growth per cycle was 1.1 Å/cycle.
机器真正需要的结构
process: Atomic Layer Deposition material: Al2O3 precursors: TMA, H2O temperature: 200 °C pulse_time: 0.1 s purge_time: 5 s growth_per_cycle: 1.1 Å/cycle
第一步只是把句子拆成字段。但这还不够,因为机器还不知道 temperature 是标准温度概念,也不知道 °C 应该如何和 Kelvin 互相转换。
普通字段
temperature: 200 °C
本体对齐后
temperature: value: 200 unit: qudt:DEG_C quantityKind: qudt:Temperature